Cryopumps

Cryopump SHI dapat menghemat energi dengan pengoperasian multi-pompa, kinerja yang stabil, dan pengurangan pada downtime.

Klik di sini untuk informasi lebih lanjut

Grup Peralatan Presisi (SHI Cryogenics Group)

Fitur
Jaringan global
Lini produk
Kontak

Fitur

Catatan untuk Cryopump

Cryopump adalah jenis pompa vakum. Perlu diketahui bahwa pompa vakun sendiri dikategorikan ke dalam dua jenis yaitu pengangkutan gas dan pengumpulan gas. Selain itu, pompa vakum juga diklasifikasikan ke dalam kategori vakum rendah, sedang, tinggi, dan sangat tinggi, sesuai dengan tekanan operasinya.

Pompa vakum rendah hingga sedang termasuk pompa vakum putar bersegel oli atau pompa kering. Sedangkan pompa vakum tinggi hingga sangat tinggi termasuk Turbo-molecular pump, Cryopump,, Sputter Ion pump dan oil Diffusion pump.

SHI Cryopump memiliki karakteristik sebagai berikut:

Discharge rate cepat (khususnya untuk hidrogen dan uap air)
Discharge flow rate maksimum (throughput) tinggi meskipun merupakan pompa pengumpul gas.
Vakum yang sepenuhnya oil-free.
Pengosongan akumulasi gas (regenerasi) secara berkala diperlukan
Akumulasi/penjebakan dan pelepasan gas kimia (termasuk oksigen dan ozon) tidak diizinkan SHI Cryopump.

H₂O dipadatkan pada panel dan perisai tahap 1 yang dikontrol secara tepat untuk beroperasi pada suhu tertentu (baik pada 80K atau 100K tergantung pada proses aplikasi)
Ar dan N2 dipadatkan pada panel tahap ke-2 yang beroperasi dalam kisaran 8 hingga 12K
H2, Ne, dan He diserap ke dalam arang pada panel tahap ke-2 yang beroperasi pada kisaran 8 hingga 12 K untuk aplikasi PVD dan suhu yang sedikit lebih tinggi untuk aplikasi Implan Ion.

SHI Cryogenics Group menjual dua merek cryopumps: SICERA® dan Marathon® CP.

SICERA®

SICERA® adalah singkatan dari Sumitomo Inverter-integrated Cryopump with Energy Reduction Advantage. Pompa ini memiliki fitur sebagai berikut:

1Operasi multi-pompa untuk kontrol individual (mencapai sebelas pompa 8 inci dengan satu kompresor).
2Cryocooler yang terbukti keandalannya.
3Penghematan energi tinggi

(SICERA menawarkan penghematan energi sebesar 40% dibandingkan dengan produk konvensional kami yaitu dari 10,3 kW menjadi 6,1 kW dengan pompa 8 inci.)*

* Hanya untuk referensi. Hasil dapat bervariasi sesuai dengan kondisi penggunaan.
4Kapasitas akumulasi gas Ar

SICERA menggandakan volume kapasitas dibandingkan dengan produk konvensional kami, yaitu dari 1000 liter menjadi 2000 liter dengan pompa berukuran 8 inci.

Marathon®

Marathon® CP Cryopump yang diproduksi oleh Sumitomo (SHI) Cryogenics of America, Inc., menyediakan fitur berikut:

1Desain panel yang unik
2Kapasitas hidrogen tinggi
3Interval regenerasi yang panjang dikombinasikan dengan waktu regenerasi yang singkat
4Tersedia beragam ukuran mulai dari 8 hingga 20 inci (200 hingga 500 mm) untuk mendukung berbagai aplikasi
5Cryocooler In-Situ (Coldhead) Cryopump adalah fitur sangat unik yang memungkinkan servis Cryocooler (Coldhead) tanpa perlu menghilangkan Cryopump dari tempatnya. Tidak perlu merusak kondisi ruang vakum.

Jaringan global

Untuk mendukung kebutuhan para pelanggan kami yang ada di seluruh dunia, kami telah mengembangkan jaringan penjualan, layanan, dan manufaktur global yang berupaya memberikan kualitas dan kinerja yang seragam.