Precision Positioning Equipment

XY stage leads nanotechnology

XY Stage digunakan untuk menentukan posisi dengan keakuratan tinggi untuk manufaktur Flat Panel Display (FPD) dan Semi Konduktor. Dari pengalaman sebagai manufakturer permesinan umum, dengan teknologi mekanisme mesin dan teknologi kontrol milik grup SHI, dapat mewujudkan akurasi tinggi dalam penentuan posisi sampai tingkat nano meter.

Keistimewaan

SA/SL series compact surface stage

  1. 1Stabilitas kecepatan dan keakuratan dalam penentuan posisi tercapai melalui penggunaan struktur bertipe huruf H dengan pusat gravitasi rendah.
  2. 2Menggunakan komponen yang terpasang sebagai opsi, memungkinkan untuk mewujudkan beragam kebutuhan konsumen.
  3. 3Mekanisme pemrosesan gaya reaksi mampu mewujudkan presisi tinggi walaupun dalam kecepatan tinggi dan akselerasi tinggi (1m/s,1G).

Aplikasi

  • Semi Konduktor/ Printed Circuit Board dan XY Stage untuk lithography, inspeksi presisi tinggi

TL series stack-type linear guide stage

  1. 1Memberikan stage berpresisi tinggi dan throughput tinggi dengan harga rendah
  2. 2Mewujudkan thoughput tinggi dengan stage linear motor drive
  3. 3Mewujudkan penentuan posisi yang berpresisi tingi dengan mekanisme proses gaya reaksi milik Grup SHI

Aplikasi

  • Semi Konduktor/ Printed Circuit Board dan XY Stage untuk lithography, inspeksi presisi tinggi

Lini Produk

  • XY stage SA/SL Series

    • Cocok untuk pemindaian wafer berkecepatan tinggi
    • Meminimalisir vibrasi dari peralatan
    • Option untuk Z-framing and θ-framing

  • XY stage TL Series

    • Mewujudkan penentuan posisi dengan kecepatan tinggi untuk wafer dan substrates
    • Meminimalisir vibrasi dari peralatan
    • Pilihan untuk Z-framing and θ-framing
Untuk informasi lebih lanjut mengenai produk ini, silakan hubungi:

Mechatronics division

Khusus untuk barang-barang berikut ini:
Precision Positioning Equipment, Laser Annealing, Laser Drills, Control Systems, Motion Components

Kontak